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처음으로 : LAB Gas System : 실험실 가스혼합 (Gas Mixing)
MODEL3100 시리즈는 MODEL3200 시리즈를 기반으로 개발 된 정밀 유량 측정 용 신형 매스 플로우 미터입니다.
압력 손실이 적은 새로운 방식의 세관 유량 센서의 채용으로 빠른 응답 및 장기 안정성을 확보 한 고급 모델입니다.
특징
-온도 추종형 전류 차이 검출 방식의 유량 센서를 탑재하여 정밀한 고속 응답을 실현
-F.S 1SCCM의 미세 유량 대응(SR옵션)
표준 사양
유량 범위 (N2 환산 20 ℃ / 1ATM) |
1SCCM~20SLM (임의로 선택) |
센서 방식 |
Thermal mass flow sensor |
응답 성 |
1sec 이내 |
정밀도 |
± 1 % FS (20 ℃) |
재현성 |
± 0.2 % FS (20 ℃) 이내 |
내압 |
980kPa (G) |
Leak Rate |
1 × 10-8Pa · ㎥ / s 이하 (He 투과 제외) |
사용 온도 |
0 ~ 50 ℃ (정밀도 보증 온도 15 ~ 35 ℃ ± 0.1 % FS / ℃) |
사용 습도 |
10 ~ 90 % RH (결로 없을 것) |
가스 접촉부 재질 |
바디 SUS316L |
씰링 FKM (옵션 CR or NBR or 칼 레즈) |
|
전기 연결 |
Dsub9 핀 KFC Standard (SEMI Standard 준수) |
유량 출력 신호 |
0~5VDC (외부 부하 저항 250kΩ 이상) |
소요 전원 |
+ 15VDC (± 5 %) 100mA, -15VDC (± 5 %) 100mA |
피팅 |
표준 1 / 4 SWL |
(본체 구경) |
옵션 1 / 8SWL, 1/4VCR, RC1/4 등 |
무게 |
약 800g |
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※주의 ※ |
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유량 범위에 따른 사양 (유량 범위 · 정도 · 응답 성 등)는 N2 또는 Air 환산 사양입니다. |
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또한 제작 사양 조건은 1 차측 300kPa 이하, 2 차측 대기 방출로 제작하고 있습니다. |
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또한 압력 조건에 관해서는 별도 문의 바랍니다. |