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MODEL3810S 시리즈는 상급 기종의 바이패스 캐피러리 방식의 질량 유량 센서의 기본 구조를 이어받아
기기 삽입용을 전제로 철저한 합리화에 의해 탄생한 Lows Masflow 센서입니다.기존 플로우트식(테이퍼관)
유량계의 대체품으로 많은 세트 메이커에서 채용 실적을 가진 KOFLOC의 베스트 셀러입니다.
표준사양
유량 범위 |
10SCCM~2SLM |
3SLM~50SLM |
(N2 환산
20 ℃ / 1ATM) |
(임의로 선택) |
(임의로 선택) |
센서 방식 |
열식 권선 센서 |
|
정밀도 |
± 3 % FS (25 ℃) |
± 5 % FS (25 ℃) |
온도 계수 |
± 0.15FS / ℃ (15 ~ 35 ℃) |
± 0.2FS / ℃ (15 ~ 35 ℃) |
재현성 |
± 0.5 % FS |
|
내압 |
980kPa
(G) |
|
허용 주위 온도 |
5~45 ℃ |
|
허용 주위 습도 |
10 ~ 90
% RH (결로 없을 것) |
|
가스 접촉부 재질 |
바디 SUS303, PTFE |
|
씰 FKM (옵션 CR or NBR) |
||
전기 연결 |
171826-5 (AMP 제) |
|
유량 출력 신호 |
0~5VDC
(외부 허용 부하 저항 250kΩ 이상) |
|
소요 전원 |
± 15VDC ± 5 % 60mA |
|
피팅 (본체 구경) |
Rc1 / 4 |
|
무게 |
약 250g |
약 350g |
Model |
EX-700 |
3810DSII |
3810S |
사양 |
표시기있음 485통신있음 전류or전압출력 |
표시기 있음 통신없음 전류or전압출력 |
표시기없음 통신없음 전압출력 |
정도 |
1% |
2% |
5% |
피팅 |
Rc1/4 or 1/4SWL |
Rc1/4 |
Rc1/4 |